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Verstärkte Luftstrommessgeräte

AWM40000-Serie

Kompensiert oder nicht kompensiert. ±25,0 SCCM, 1,0 SLPM, 6,0 SLPM. Analogausgang

Bedienung

Der Mikrobrücken-Luftmassenmesser arbeitet nach dem Prinzip der Wärmeübertragung. Die Luftmasse wird über die Oberfläche der Messelemente geleitet. Die Ausgangsspannung variiert proportional zur Luftmasse oder zum Strom anderer Gase durch die Einlass- und Auslass-Ports des Pakets. Das speziell entworfene Gehäuse leitet und steuert die Luftströmung präzise über das Mikrostruktur-Sensorelement. Die mechanische Konstruktion des Pakets ermöglicht die einfache Montage an den Leiterplatten.

Der Mikrobrücken-Luftmassenmesser verfügt über einen einzigartigen Siliziumchip mit der hochentwickelten Mikrostrukturtechnologie. Er verfügt über eine thermisch isolierte Dünnschicht-Brückenstruktur, die aus einem Heizer und Temperaturmesselementen besteht. Die Brückenstruktur bietet eine sensible und schnelle Ansprache auf Luft- und andere Gasströme über den Chip. Duale Messelemente, die sich an beiden Seiten eines zentralen Heizelements befinden, zeigen die Strömungsrichtung sowie die Strömungsrate an. Per Laser abgeglichene Dick- und Dünnschicht-Widerstände ermöglichen eine konsistente Austauschbarkeit von einem Gerät zum nächsten.

Das Mikrobrücken-Luftmassenmessgerät verfügt über temperatursensible Widerstände, die in einer Dünnschicht aus Siliziumnitrid gelagert sind. Sie werden in Form von zwei Brücken über einem geätzten Hohlraum im Silizium gelagert. Der Chip befindet sich in einem präzise bemaßten Luftstromkanal, der eine wiederholbare Luftstromansprache ermöglicht. Eine hocheffiziente thermische Isolierung für die Heiz- und Sensorwiderstände wird erreicht, indem der Hohlraum unter die Luftstrommessbrücken geätzt wird. Die geringe Größe und die thermische Isolierung des Mikrobrücken-Luftmassenmessers ermöglichen die äußerst schnelle Reaktion und die hohe Empfindlichkeit gegenüber Strömen.

Zwei Wheatstone-Brücken regeln die Luftstrommessung – eine bietet die Heizregelung mit geschlossenem Regelkreis, die andere enthält doppelte Sensorelemente. Der Heizregelkreis minimiert die Schaltvorgänge aufgrund von Änderungen der Umgebungstemperatur, indem ein Ausgang proportional zum Massenstrom zur Verfügung steht. Der Schaltkreis hält die Heizungstemperatur konstant (160 °C) über der Temperatur der Umgebungsluft, was durch einen Wärmewiderstand am Chip erfasst wird. Die ratiometrische Ausgangsspannung des Geräts entspricht der Differenzialspannung im Wheatstone-Brückenkreis.

HINWEIS

Verunreinigungen durch Staub sind in manchen Anwendungen möglich, und können minimiert werden. Konstruktionsbedingt strömen Staubpartikel, die im Luftstrom vorhanden sind, parallel zur Chipoberfläche über den Chip. Darüber hinaus produziert der Mikrostruktur-Chip einen thermophoresischen Effekt, wodurch Staubpartikel in Mikrometergröße von der Brückenstruktur abgeleitet werden.

Das Anhaften von Staub an den Chipkanten und den Kanaloberflächen kann mithilfe eines einfachen Filters vermieden werden. Ein wegwerfbarer 5-Mikron-Filter, der in Reihe an der nachgelagerten Seite des Luftstromgerätes verwendet wird, bietet eine ordnungsgemäße Filterung in den meisten Anwendungen.

ACHTUNG: PRODUKTBESCHÄDIGUNG

Mikrobrücken-Luftmassenmesser der AWM-Serie sind nicht darauf ausgelegt, Flüssigkeitsströme zu erfassen, und wird durch ein Strömen von Flüssigkeit durch den Sensor beschädigt.

Nichtbefolgung dieser Anweisungen kann zu Produktbeschädigung führen.

Datenblatt
Name
Beschreibung
Dateigröße
Datum
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AWM40000 Series Airflow Sensors, Unamplified and Amplified
application/pdf 511.32 KB
8/2/2021
511.32 KB
Handbücher und Anleitungen
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Beschreibung
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Datum
Größe
Airflow sensors contain advanced microstructure technology to provide a sensitive and fast responseto flow, amount/direction of air or other gases. Potential applications include HVAC, gas metering, chromatography, vent hoods, and medical equipment.
application/pdf 4.14 MB
5/11/2021
4.14 MB
AWM40000 Series Microbridge Mass Gas-flow Sensors
application/pdf 195.75 KB
8/2/2021
195.75 KB
CAD Modell
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Beschreibung
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Datum
Größe
AWM40000 Series CAD Models - grouped
application/zip 182.64 KB
5/11/2021
182.64 KB
AWM40000 Series AWM43300V CAD Model.zip
application/zip 92.88 KB
5/11/2021
92.88 KB
AWM40000 Series AWM42150VH CAD Model.zip
application/zip 89.71 KB
5/11/2021
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Broschüre
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Datum
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Sensors and Switches for Medical Applications
application/pdf 10.15 MB
5/11/2021
10.15 MB
Technischer Hinweis
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Beschreibung
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Datum
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Energy and Environmental Design Trends
application/pdf 828.15 KB
5/11/2021
828.15 KB
Gas Media Compatibility & Correction Factors
application/pdf 100.72 KB
8/2/2021
100.72 KB
Mass Airflow Sensors Particle Contamination and Filter Manufacturers
application/pdf 106.82 KB
8/2/2021
106.82 KB
Pressure or Airflow Sensors?
application/pdf 560.47 KB
5/11/2021
560.47 KB
Mass Airflow Sensors Measuring Low Differential Pressures Altitude and Gas Density Correction
application/pdf 88.96 KB
8/2/2021
88.96 KB
Airflow Sensor Glossary of Terms
application/pdf 162.97 KB
8/2/2021
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Mass Flow Sensors: Mass Flow versus Volumetric Flow and Flow Rate Unit Conversions
application/pdf 199.08 KB
8/2/2021
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Katalog
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Datum
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AWM Series Airflow Sensors Introduction
application/pdf 187.89 KB
8/2/2021
187.89 KB
Anwendungshinweis
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Datum
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Solutions for Ventilators
application/pdf 2.78 MB
11/25/2021
2.78 MB
Sensors and Switches: Solutions for Medical Applications
application/pdf 1.34 MB
11/23/2021
1.34 MB
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Datum
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Solutions for Ventilators
2.78 MB
11/25/2021
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Energy and Environmental Design Trends
828.15 KB
5/11/2021
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Sensors and Switches for Medical Applications
10.15 MB
5/11/2021
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Gas Media Compatibility & Correction Factors
100.72 KB
8/2/2021
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AWM40000 Series CAD Models - grouped
182.64 KB
5/11/2021
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Airflow sensors contain advanced microstructure technology to provide a sensitive and fast responseto flow, amount/direction of air or other gases. Potential applications include HVAC, gas metering, chromatography, vent hoods, and medical equipment.
4.14 MB
5/11/2021
4.14 MB
Mass Airflow Sensors Particle Contamination and Filter Manufacturers
106.82 KB
8/2/2021
106.82 KB
Pressure or Airflow Sensors?
560.47 KB
5/11/2021
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AWM40000 Series AWM43300V CAD Model.zip
92.88 KB
5/11/2021
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Mass Airflow Sensors Measuring Low Differential Pressures Altitude and Gas Density Correction
88.96 KB
8/2/2021
88.96 KB
Airflow Sensor Glossary of Terms
162.97 KB
8/2/2021
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AWM40000 Series AWM42150VH CAD Model.zip
89.71 KB
5/11/2021
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AWM40000 Series Microbridge Mass Gas-flow Sensors
195.75 KB
8/2/2021
195.75 KB
Mass Flow Sensors: Mass Flow versus Volumetric Flow and Flow Rate Unit Conversions
199.08 KB
8/2/2021
199.08 KB
AWM40000 Series Airflow Sensors, Unamplified and Amplified
511.32 KB
8/2/2021
511.32 KB
AWM Series Airflow Sensors Introduction
187.89 KB
8/2/2021
187.89 KB
Sensors and Switches: Solutions for Medical Applications
1.34 MB
11/23/2021
1.34 MB
Name
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Datum
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AWM40000 Series Airflow Sensors, Unamplified and Amplified
511.32 KB
8/2/2021
Airflow sensors contain advanced microstructure technology to provide a sensitive and fast responseto flow, amount/direction of air or other gases. Potential applications include HVAC, gas metering, chromatography, vent hoods, and medical equipment.
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AWM40000 Series Microbridge Mass Gas-flow Sensors
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AWM40000 Series CAD Models - grouped
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5/11/2021
AWM40000 Series AWM43300V CAD Model.zip
92.88 KB
5/11/2021
AWM40000 Series AWM42150VH CAD Model.zip
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5/11/2021
Sensors and Switches for Medical Applications
10.15 MB
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Mass Airflow Sensors Particle Contamination and Filter Manufacturers
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Mass Flow Sensors: Mass Flow versus Volumetric Flow and Flow Rate Unit Conversions
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8/2/2021
AWM Series Airflow Sensors Introduction
187.89 KB
8/2/2021
Solutions for Ventilators
2.78 MB
11/25/2021
Sensors and Switches: Solutions for Medical Applications
1.34 MB
11/23/2021
Image
SKU
Description
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AWM42150VH
MICROSCHALTER
alt
AWM42300V
MICROSCHALTER
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AWM43300V
MICROSCHALTER
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AWM43600V
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