HAFシリーズ - 高フロー

ハネウェルZephyr™ HAFシリーズセンサは、規定されたフルスケール流量、および補償温度範囲内で気流を検出するためのデジタルインターフェースを提供します。このセンサは、熱的に絶縁されたヒータと温度検出素子により、空気やガスの流れに高速に反応できます。

Zephyrセンサは、空気と非腐食性気体の質量流量の測定用に設計されています。

10 SLPM～300 SLPM

標準流量範囲は10SLPM、15SLPM、20SLPM、50SLPM、100SLPM、200SLPM、300SLPMで、カスタムの流量範囲にも対応可能です。このセンサは、基板上の特定用途向け集積回路（ASIC）を用いて、完全にキャリブレーションおよび温度補正されています。

HAFシリーズは、0 °C～50 °C [32 °F～122 °F] の温度範囲全体にわたってキャリブレーションされています。最先端のASICベースの補償により、1msの応答時間でデジタル（I2C）出力が提供されます。

±50 SCCM～±750 SCCM

標準型フローレンジには、±50、±100、±200、±400、±750 SCCMがあります。カスタムフローレンジもご利用いただけます。このセンサは、基板上の特定用途向け集積回路（ASIC）を用いて、完全にキャリブレーションおよび温度補正されています。

HAFシリーズの補正温度範囲は0°C～50°C [32°F～122°F]、操作温度範囲は -20°C～70°C [-4°F～158°F] です。最先端のASICベースの補償により、1msの応答時間でデジタル（I2C）出力が提供されます。

これらのセンサは、熱伝導原理を利用して質量流量を測定します。このセンサは、プラチナおよびシリコン窒化物の薄膜を堆積した温度検出抵抗を備えた、マイクロエレクト​​ロニクスおよびMEMS（マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム）のマイクロブリッジから構成されています。MEMSセンシングダイは、正確かつ慎重に設計された流量チャンネルに設置され、流量に対して再現性のある応答性を実現します。

Zephyrセンサは、高い信頼性、高精度、再現性のある測定に加え、各種アプリケーションに特定してセンサのオプションをカスタマイズする機能も備えています。これらの製品は、安定した基板と頑強なハウジングの組み合わせにより、非常に堅牢な造りとなっています。製品はISO 9001規格に準拠して設計・製造されています。