増幅型エアフローセンサ
HAFシリーズ -低フロー
補償済み 10 SLPM～300 SLPM デジタル出力
製品概要
ハネウェルZephyr™ HAFシリーズセンサは、規定されたフルスケール流量、および補償温度範囲内で気流を検出するためのデジタルインターフェースを提供します。このセンサは、熱的に絶縁されたヒータと温度検出素子により、空気やガスの流れに高速に反応できます。
Zephyrセンサは、空気と非腐食性気体の質量流量の測定用に設計されています。標準流量範囲は10SLPM、15SLPM、20SLPM、50SLPM、100SLPM、200SLPM、300SLPMで、カスタムの流量範囲にも対応可能です。このセンサは、基板上の特定用途向け集積回路（ASIC）を用いて、完全にキャリブレーションおよび温度補正されています。
HAFシリーズは、0 °C～50 °C [32 °F～122 °F] の温度範囲全体にわたってキャリブレーションされています。最先端のASICベースの補償により、1msの応答時間でデジタル（I2C）出力が提供されます。
これらのセンサは、熱伝導原理を利用して質量流量を測定します。このセンサは、プラチナおよびシリコン窒化物の薄膜を堆積した温度検出抵抗を備えた、マイクロエレクトロニクスおよびMEMS（マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム）のマイクロブリッジから構成されています。MEMSセンシングダイは、正確かつ慎重に設計された流量チャンネルに設置され、流量に対して再現性のある応答性を実現します。
Zephyrセンサは、高い信頼性、高精度、再現性のある測定に加え、各種アプリケーションに特定してセンサのオプションをカスタマイズする機能も備えています。これらの製品は、安定した基板と頑強なハウジングの組み合わせにより、非常に堅牢な造りとなっています。製品はISO 9001規格に準拠して設計・製造されています。
データシート
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Honeywell ZephyrTM Analog Airflow Sensors HAF Series-High Accuracy: ±50 SCCM to ±750 SCCM
application/pdf 1.23 MB
6/15/2022
1.23 MB
Honeywell ZephyrTM Digital Airflow Sensors HAF Series–High Accuracy: ±50 SCCM to ±750 SCCM
application/pdf 1.18 MB
6/15/2022
1.18 MB
ハネウェルゼファー™デジタルエアフローセンサHAFシリーズ-高精度:10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM,50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM、300 SLPM
application/pdf 1.7 MB
1/3/2022
1.7 MB
マニュアル・ガイド
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Airflow sensors contain advanced microstructure technology to provide a sensitive and fast responseto flow, amount/direction of air or other gases. Potential applications include HVAC, gas metering, chromatography, vent hoods, and medical equipment.
application/pdf 4.14 MB
5/24/2021
4.14 MB
設置手順
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Honeywell Zephyr™ Digital Airflow Sensors HAF Series—High Accuracy: ±50 SCCM to ±750 SCCM
application/pdf 524.05 KB
7/22/2022
524.05 KB
Honeywell Zephyr™ Digital Airflow Sensors: HAF Series-High Accuracy, 10 SLPM to 300 SLPM
application/pdf 474.08 KB
5/24/2021
474.08 KB
Honeywell Zephyr™ Digital Airflow Sensors: HAF Series-High Accuracy, �50 SCCM to �750 SCCM Installation Instructions
application/pdf 524.05 KB
5/24/2021
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CADモデル
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Honeywell Zephyr™ HAF Series - High Accuracy: ±50 SCCM to ±750 SCCM CAD Models
application/zip 1.77 MB
7/27/2022
1.77 MB
ブローシャ―
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Controlling the Future with Technology
application/pdf 11.8 MB
3/7/2023
11.8 MB
Sensors and Switches for Medical Applications
application/pdf 2.38 MB
4/25/2023
2.38 MB
Embedded Products in Hospital Applications
application/pdf 4.7 MB
6/12/2023
4.7 MB
テクニカルノート
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I2C Communications with Honeywell Digital Airflow Sensors Technical Note
application/pdf 237.91 KB
5/24/2021
237.91 KB
Gas Media Compatibility & Correction Factors
application/pdf 97.66 KB
5/24/2021
97.66 KB
Mass Airflow Sensors Particle Contamination and Filter Manufacturers
application/pdf 100.21 KB
5/24/2021
100.21 KB
Mass Airflow Sensors Measuring Low Differential Pressures Altitude and Gas Density Correction
application/pdf 86.49 KB
5/24/2021
86.49 KB
Airflow Sensor Glossary of Terms
application/pdf 156.26 KB
5/24/2021
156.26 KB
Mass Flow Sensors: Mass Flow versus Volumetric Flow and Flow Rate Unit Conversions
application/pdf 192.45 KB
5/24/2021
192.45 KB
Pressure or Airflow Sensors?
application/pdf 560.47 KB
5/24/2021
560.47 KB
Energy and Environmental Design Trends
application/pdf 828.15 KB
5/24/2021
828.15 KB
カタログ
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Honeywell Zephyr™ Airflow Sensors, HAF Series-High Accuracy, 10 SLPM to 300 SLPM
application/postscript 319.61 KB
5/24/2021
319.61 KB
Honeywell Zephyr™ Airflow Sensors, HAF Series-High Accuracy, ±50 SCCM to ±750 SCCM
application/pdf 82.4 KB
5/24/2021
82.4 KB
アプリケーション・ノート
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Honeywell Zephyr™ Digital Airflow Sensors: HAF Series-High Accuracy, 10 SLPM to 300 SLPM
application/pdf 282.8 KB
5/24/2021
282.8 KB
Sensors in Sleep Apnea Machines
application/pdf 1.88 MB
5/24/2021
1.88 MB
Sensors in Anesthesia Machines
application/pdf 2.3 MB
5/24/2021
2.3 MB
Honeywell Zephyr™ Analog and Digital Airflow Sensors: HAF Series-High Accuracy, �50 SCCM to �750 SCCM
application/pdf 488.55 KB
5/24/2021
488.55 KB
Sensors and Switches for HVAC Applications
application/pdf 4.51 MB
5/24/2021
4.51 MB
製品写真
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HAF Series - Low Flow Product Photo - grouped
application/zip 328.44 KB
6/1/2021
328.44 KB
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Controlling the Future with Technology
11.8 MB
3/7/2023
11.8 MB
Honeywell Zephyr™ HAF Series - High Accuracy: ±50 SCCM to ±750 SCCM CAD Models
1.77 MB
7/27/2022
1.77 MB
Honeywell Zephyr™ Digital Airflow Sensors HAF Series—High Accuracy: ±50 SCCM to ±750 SCCM
524.05 KB
7/22/2022
524.05 KB
Honeywell ZephyrTM Analog Airflow Sensors HAF Series-High Accuracy: ±50 SCCM to ±750 SCCM
1.23 MB
6/15/2022
1.23 MB
Honeywell ZephyrTM Digital Airflow Sensors HAF Series–High Accuracy: ±50 SCCM to ±750 SCCM
1.18 MB
6/15/2022
1.18 MB
I2C Communications with Honeywell Digital Airflow Sensors Technical Note
237.91 KB
5/24/2021
237.91 KB
Gas Media Compatibility & Correction Factors
97.66 KB
5/24/2021
97.66 KB
Mass Airflow Sensors Particle Contamination and Filter Manufacturers
100.21 KB
5/24/2021
100.21 KB
HAF Series - Low Flow Product Photo - grouped
328.44 KB
6/1/2021
328.44 KB
Mass Airflow Sensors Measuring Low Differential Pressures Altitude and Gas Density Correction
86.49 KB
5/24/2021
86.49 KB
Honeywell Zephyr™ Airflow Sensors, HAF Series-High Accuracy, 10 SLPM to 300 SLPM
319.61 KB
5/24/2021
319.61 KB
Honeywell Zephyr™ Digital Airflow Sensors: HAF Series-High Accuracy, 10 SLPM to 300 SLPM
282.8 KB
5/24/2021
282.8 KB
Airflow sensors contain advanced microstructure technology to provide a sensitive and fast responseto flow, amount/direction of air or other gases. Potential applications include HVAC, gas metering, chromatography, vent hoods, and medical equipment.
4.14 MB
5/24/2021
4.14 MB
Mass Flow Sensors: Mass Flow versus Volumetric Flow and Flow Rate Unit Conversions
192.45 KB
5/24/2021
192.45 KB
ハネウェルゼファー™デジタルエアフローセンサHAFシリーズ-高精度:10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM,50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM、300 SLPM
1.7 MB
1/3/2022
1.7 MB
Sensors and Switches for Medical Applications
2.38 MB
4/25/2023
2.38 MB
Honeywell Zephyr™ Analog and Digital Airflow Sensors: HAF Series-High Accuracy, �50 SCCM to �750 SCCM
488.55 KB
5/24/2021
488.55 KB
Honeywell Zephyr™ Digital Airflow Sensors: HAF Series-High Accuracy, 10 SLPM to 300 SLPM
474.08 KB
5/24/2021
474.08 KB
Honeywell Zephyr™ Airflow Sensors, HAF Series-High Accuracy, ±50 SCCM to ±750 SCCM
82.4 KB
5/24/2021
82.4 KB
Embedded Products in Hospital Applications
4.7 MB
6/12/2023
4.7 MB
Honeywell Zephyr™ Digital Airflow Sensors: HAF Series-High Accuracy, �50 SCCM to �750 SCCM Installation Instructions
524.05 KB
5/24/2021
524.05 KB
Sensors and Switches for HVAC Applications
4.51 MB
5/24/2021
4.51 MB
Energy and Environmental Design Trends
828.15 KB
5/24/2021
828.15 KB
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Honeywell ZephyrTM Analog Airflow Sensors HAF Series-High Accuracy: ±50 SCCM to ±750 SCCM
1.23 MB
6/15/2022
Honeywell ZephyrTM Digital Airflow Sensors HAF Series–High Accuracy: ±50 SCCM to ±750 SCCM
1.18 MB
6/15/2022
ハネウェルゼファー™デジタルエアフローセンサHAFシリーズ-高精度:10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM,50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM、300 SLPM
1.7 MB
1/3/2022
Airflow sensors contain advanced microstructure technology to provide a sensitive and fast responseto flow, amount/direction of air or other gases. Potential applications include HVAC, gas metering, chromatography, vent hoods, and medical equipment.
4.14 MB
5/24/2021
Honeywell Zephyr™ Digital Airflow Sensors HAF Series—High Accuracy: ±50 SCCM to ±750 SCCM
524.05 KB
7/22/2022
Honeywell Zephyr™ Digital Airflow Sensors: HAF Series-High Accuracy, 10 SLPM to 300 SLPM
474.08 KB
5/24/2021
Honeywell Zephyr™ Digital Airflow Sensors: HAF Series-High Accuracy, �50 SCCM to �750 SCCM Installation Instructions
524.05 KB
5/24/2021
Honeywell Zephyr™ HAF Series - High Accuracy: ±50 SCCM to ±750 SCCM CAD Models
1.77 MB
7/27/2022
Sensors and Switches for Medical Applications
2.38 MB
4/25/2023
Embedded Products in Hospital Applications
4.7 MB
6/12/2023
I2C Communications with Honeywell Digital Airflow Sensors Technical Note
237.91 KB
5/24/2021
Gas Media Compatibility & Correction Factors
97.66 KB
5/24/2021
Mass Airflow Sensors Particle Contamination and Filter Manufacturers
100.21 KB
5/24/2021
Mass Airflow Sensors Measuring Low Differential Pressures Altitude and Gas Density Correction
86.49 KB
5/24/2021
Mass Flow Sensors: Mass Flow versus Volumetric Flow and Flow Rate Unit Conversions
192.45 KB
5/24/2021
Honeywell Zephyr™ Airflow Sensors, HAF Series-High Accuracy, 10 SLPM to 300 SLPM
319.61 KB
5/24/2021
Honeywell Zephyr™ Airflow Sensors, HAF Series-High Accuracy, ±50 SCCM to ±750 SCCM
82.4 KB
5/24/2021
Honeywell Zephyr™ Digital Airflow Sensors: HAF Series-High Accuracy, 10 SLPM to 300 SLPM
282.8 KB
5/24/2021
Honeywell Zephyr™ Analog and Digital Airflow Sensors: HAF Series-High Accuracy, �50 SCCM to �750 SCCM
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5/24/2021
Sensors and Switches for HVAC Applications
4.51 MB
5/24/2021
HAF Series - Low Flow Product Photo - grouped
328.44 KB
6/1/2021
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SKU
Description
HAFUHH0020L4AXT
HAFUHH0050L4AXT
HAFUHH0100L4AXT
HAFUHH0200L4AXT
ZEPHYR AIRFLOW SENSOR
HAFUHM0010L4AXT
HAFUHM0020L4AXT
HAFUHM0200L4AXT
HAFUHM0300L4AXT
HAFUHT0015L4AXT
HAFUHT0020L4AXT
ZEPHYR AIRFLOW SENSOR
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SKU
Description
HAFUHH0020L4AXT
HAFUHH0050L4AXT
HAFUHH0100L4AXT
HAFUHH0200L4AXT
ZEPHYR AIRFLOW SENSOR
HAFUHM0010L4AXT
HAFUHM0020L4AXT
HAFUHM0200L4AXT
HAFUHM0300L4AXT
HAFUHT0015L4AXT
HAFUHT0020L4AXT
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